1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)
文 献 综 述传感器是一种重要工具,能够感受外部的可计算量如物理量、化学量等,按照设定的转换规律得到电压或电流信号并输出,通常是由感受外界模拟信号的敏感元器件、将电压电流相互进行转换的元件和测试计算电路这三部分组成。
压力传感器,是工业中最为常用的一种传感器,压力传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。
但应用最为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
目前,实现柔性传感器高灵敏、快速响应、低成本制造和复杂信号检测仍然是一个很大的挑战。
将聚二甲基硅氧烷(pdms)介电层夹在两个柔性电极之间的电容式压力传感器,以其结构简单、易于加工、低压操作、与人体组织的生物医学相容性等优点,成为目前比较流行的解决方案。
因此,本课题拟用聚二甲基硅氧烷和铁电材料制备复合材料设计和制造出一种柔性电容式压力传感器,并对其在理论模型、制作工艺、器件的传感性能以及相关应用等方面开展研究。
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