改性二氧化锡薄膜制备及其导电性能探索开题报告

全文总字数：3448字

1. 研究目的与意义（文献综述）

目的：本课题为制备高可靠电阻器的导电层，采用改性二氧化锡作为研究对象，通过化学法制备二氧化锡基溶液，采用涂覆或者喷涂法制备薄膜，制备的薄膜采用快速热处理技术进行陶瓷化制备，根据溶液浓度、热处理温度和时间、薄膜厚度等工艺参数，研究薄膜的电阻、温度稳定性等性能，以期获得性能可靠的改性二氧化锡组成，其结构与性能的变化特性及显微结构对电阻率优化的深层次原因。

意义：半导体二氧化锡薄膜具有很高的电导率和透光性，能与玻璃或陶瓷牢固地联结，可制成既透明又导电的导电玻璃和各种加热元件，以及电子设备和电子仪器中应用的电阻器。最初，将二氧化锡薄膜覆盖在玻璃或者陶瓷电容器上，利用它的导电性质作为加热器，热能利用率达到90%以上；又因为它的透光性好，在汽车、飞机、轮船等交通运输工具的窗玻璃上形成一层导电薄膜作为加热器，防止雾、霜、水汽冷凝和冰冻而模糊。导电玻璃在现代科技领域和各个工业部门中也得到很大的发展，如在电致发光或放大器平板玻璃上喷涂导电薄膜。由于无线电子技术的迅速发展，对电阻元件的要求显著提高，而制造高可靠和高耐温特性的薄膜电阻对电子设备稳定性至关重要。

2. 研究的基本内容与方案

1. 基本内容

1. 文献调研，了解国内外相关研究概况和发展趋势，了解选题与社会、

   健康、安全、成本以及环境等因素的关系；

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   3. 研究计划与安排

   第1－3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告；

   第4－7周：按照设计方案，制备改性二氧化锡溶液及薄膜；

   第8－12周：用xrd、sem、阻抗分析仪、电流表等测试技术对材料的相结构、形貌及电学性能进行表征；

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   4. 参考文献（12篇以上）

   [1]. shihui yu, haoran zheng, lingxia li, siliang chen, highly conducting and transparent antimony doped tin oxide thin films: the role of sputtering power density, ceramics international 43 (2017) 5654-5660.

   [2]. b. benrabah, a. bouaza, a. kadari, m.a. maaref, impedance studies of sb doped sno2 thin film prepared by sol gel process, superlattices and microstructures 50 (2011) 591-600.

   [3]. g. korotcenkov, b.k. cho, instability of metal oxide-based conductometric gas sensors and approaches to stability improvement (short survey), sensors and actuators b 156 (2011) 527- 538.

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