高强度氮化硅结合碳化硅材料的制备开题报告

1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述

一、课题研究的目的和意义

近年来，随着太阳能光伏产业^[1]的迅猛发展，硅晶片的需求量也越来越大。硅晶片主要是通过硅锭（硅棒）线切割的方法制备，此方法需要sic微粉作为切割磨料。由于硅锭线切割过程中对sic磨削微粉的粒径分布以及颗粒形貌等要求严格，因此sic磨削微粉重复利用几次后就不能再被使用，使得硅晶片生产中会产生大量的切割废料，其主要成分是sic、si粉、有机溶液（聚乙二醇）以及fe₂o₃等杂质。目前硅锭线切割废料的回收利用技术还不是很成熟，很难实现通过回收利用硅锭线切割废料制备出相应的产品。结合si₃n₄/sic耐火材料的优良性能以及反应烧结的特点，可以通过对硅锭线切割废料进行简单的处理，然后利用切割废料中的sic和si粉反应烧结制备si₃n₄/sic耐火材料。sic和si都属于高能耗原料，因此如果能够利用硅锭线切割废料反应烧结制备出可供使用的高性能si₃n₄/sic耐火材料，那么不仅能够给企业带去巨大的经济效益，减少切割废料对环境污染，而且还能够降低si₃n₄/sic耐火材料的生产成本，甚至能够带动si₃n₄/sic耐火材料更广泛的应用。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

1、该论题研究的内容主要是以下几个方面：

（1）研究氮化工艺参数对氮化硅转化率的影响；

（2）研究烧结助剂、烧成制度等对氮化硅烧成性能的影响；