1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
文 献 综 述 开尔文探针技术首先是thomson在1898年发展的，随后经lord kelvin完善，使用振动平行板电容器装置开发的宏观方法，该方法控制施加到一个振动板上的电压，以使振动不产生电流。
然而随着尺度的减小，导致灵敏度较差。
后来zisam进一步完善与发展使其更加精准，成为一种有效的测量方法。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
研究内容、研究目标，以及拟解决的关键科学问题目前，大多数的kelvin探针技术研究是通过扫描kelvin探针力显微镜(skpfm)来进行的，与传统扫描kelvin探针(skp)相比,skpfm更容易受到表面形貌的影响,再加上振动悬臂的信号干扰，往往使得测量值不正确,在某些情况下甚至还会出现完全相反的结果。
另外skpfm的探针和样品之间存在的电场会影响样品的表面状态，尤其是对半导体材料的测量上。
本项目的研究目标是搭建开尔文探针显微镜系统，调整优化光路；系统测试及样品表征，分析测试数据进一步优化装置。
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