1. 研究目的与意义
研究目的: 工业级MEMS加速度计在汽车、移动电话、光标、游戏机、导航等行业中的运用十分广泛，本文基于工业用微机电加速度计的建模技术，对其结构进行分析，比对开环与闭环两种加速度结构在MATLAB仿真时的表现，对相关结果进行分析说明。研究MEMS加速度计在结构方面对于检测数据质量的影响，提高加速度计的检测质量。 研究意义: 为了探究开环与闭环两种加速度结构对于传感器检测精度的影响。近年来微机电加速度计的研究更加深入，在各个领域的广泛运用，也促使了其对于精度要求的提高。微机电加速度计精度的提高，对于汽车、移动电话等产业的不断发展起着极为重要的作用。所以，这次研究也给了我一个很好的锻炼机会，让我能够更加深入的了解加速度计。 |
2. 国内外研究现状分析
自1977年美国斯坦福大学首先利用微加工技术制作了一种开环微加速度计以来，国内外开发出了各种结构和原理的加速度计，国外一些公司已经实现了部分类型微加速度计的产品化，例如美国ad公司1993年就开始批量化生产基于平面工艺的电容式微加速度计。
外国对mems加速度计的研究比较早，因此国外mems的技术水平现在已经达到了生产和应用化的程度，大量的传感器公司都投入到mems传感器技术的开发和应用领域中，并且不限于mems加速度计，其发展水平的速度远远超乎我们的想象。
我国对mems加速度计的研究起步较晚，但是也作出了不少很有价值的实验。
3. 研究的基本内容与计划
研究内容: 本文首先阐述了工业级MEMS加速度计理论，以及现今使用比较普遍的工业用微机电加速度计的结构，归纳总结了工业用微电机加速度计的开环与闭环结构。运用MATLAB平台对两种不同结构的加速度计进行仿真实验，探究在开环与闭环结构情况下，对MEMS加速度计的检测精度的影响，并可以知道哪种结构可以使得加速度计更加精确。
时间安排：选题：2015年12月31日前开题报告：2016年1月16日前中期检查：2016年4月4日4月15日答辩、成绩发布：2016年5月23日6月5日完善、提交论文定稿：2016年5月30日6月12日评优：2016年6月7日6月9日
4. 研究创新点
传感器的精度，对于工业生产中的影响极大。本文就MEMS加速度计的开环与闭环结构在MATLAB平台上进行建模仿真实验，不仅可以节约研究成本，也可以通过建模仿真得到两种结构对工业用微机电加速度计的测量精度的影响，实现工业用微机电加速度计在结构上的选择。
