1. 毕业设计(论文)的内容和要求
用琼斯矩阵表示出PWSA式椭偏仪的工作过程,深入研究反射椭偏术的原理并用反射椭偏术测量薄膜厚度。同时学会文献检索、毕业论文的写作。
2. 实验内容和要求
任务内容:(1)对pwsa式椭偏仪进行深入的研究;
(2)对反射椭偏术进行分析与讨论
(3)对反射椭偏术的应用作调研;
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3. 参考文献
[1][2][7]王益朋.薄膜厚度的椭圆偏振光法测量[j].天津大学,2010:1-3,12-13,40-50.
[3]包学诚.椭偏仪的结构原理与发展[j].现代科学仪器,1999,03:5-16.
[4]陈篮.膜厚度测量的椭偏仪法原理分析[j].大学物理实验,1999,03:11-29.
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4. 毕业设计(论文)计划
第一阶段针对本次课题的任务,进行调研与文献检索(3月份);
第二阶段针对前期工作,提出创新方案并进行必要的论证(4月份-5月上旬);
第三阶段撰写毕业论文的初稿(5月中旬);
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