文献综述（或调研报告）：
1 石英晶体特性
石英振梁作为石英谐振加速度计的重要频率调制元件，是石英晶体先通过切割、研磨、抛光后再进行清洗、镀膜、刻蚀等微细加工得到的。石英是绝缘体，静态工作时为一个电容器，一般为几个皮法。石英晶体还具有特殊的压电效应，给晶片施加一个机械作用力，在晶片的相应方向上就会产生电场；反过来，在石英晶片上外加一电场，晶片又会产生机械变形。当给晶振的电极之间加上交变电压，它就会产生机械振动，而这个机械振动又会使晶片产生交变的电场，这种机械振动的振幅和交变电场的变化幅度一般非常微小，只有当外加交变电压的频率等于某一特定频率时，振幅才会急剧增大，这种现象称作压电谐振[6]。这个特定频率称为石英晶体的固有频率或谐振频率f0，由晶片的尺寸和切割角度决定。
当石英振梁处于谐振频率附近时，它的机械特性可以由动态阻抗(motional impedance)表达，动态阻抗并联上晶振的静态电容C0就构成了晶振的Butterworth-Van Dyke(BVD)等效电路，如图1所示[7]。电感Ls模拟石英振梁发生弯曲振动时的振动质量，一般为几万亨利 (104H)，电容Cs表示谐振梁的机械弹性，一般为几飞法(10-15F)，电阻Rs模拟谐振梁振动时的能量损耗[1]，一般为几百千欧，甚至为兆欧(106Omega;)。
图1 晶振的Butterworth-Van Dyke(BVD)等效电路
当等效电路中Ls Cs Rs的支路产生串联谐振时，该支路呈纯阻性，谐振频率称为串联谐振频率fs：
（1）
谐振频率下整个网络的阻抗等于Rs并联C0，因1/Rsomega;C0，故可近似认为石英振梁也呈纯阻性，等效电阻为Rs。当f lt; fs时，电抗较大，起主导作用，谐振梁呈容性。当f gt; fs时，支路Ls Cs Rs呈感性，并将与C0产生并联谐振，振梁又呈纯阻性，此谐振频率成为并联谐振频率fp：
（2）
