南 京 理 工 大 学
毕业设计(论文)开题报告
学 生 姓 名：张含 学 号：913101170109
专业（方向）：测控技术与仪器
设计(论文)题目：硅微谐振式加速度计低功耗振荡电路设计
指 导 教 师 : 夏国明
2016年 12月 27日
毕 业 设 计（论 文）开 题 报 告
文 献 综 述
1.1研究目的与意义
硅微谐振式加速度计是以微机械加工工艺为基础制作的MEMS惯性器件，它通过检测谐振器谐振频率的变化来敏感加速度的大小。相对于传统加速度计，硅微谐振式加速度汁具有量程范围大，分辨率高、稳定性好、体积小、质量轻等特点。与传统电容式加速度计位移敏感原理不同，其利用力敏感原理，通过谐振结构输出与外界输入加速度成比例的频率信号，无需 A/D 转换电路即可与数字电路接口，大大简化了处理电路。由于谐振式压力传感器输出频率信号，而频率信号是能获得最高测量精度的信号，并且适用于长距离传输而不会降低其精度，也降低了对后续处理电路的要求。这类传感器主要用于航空、 航天工业如喷气发动机试验、 推力控制系统、机载大气数据计算系统, 以及气象、地质、航海、油井和工业检测等各种不同领域中。英国Drunk 公司 、Greenwood等八十年代中后期开始这方面的研究，九十年代初已有产品问世。日本横河公司 Ikeda、荷兰L amm erink 等也作出了采用不同激振拾振方式的高精度压力传感器. 据报道，Draper实验室研发的谐振式加速度计性能已达到战略级，零偏稳定性和标度因数稳定性分和，Honeywell公司的SA500谐振式加速度计零偏稳定性和分辨率为4 mg和。韩国首尔大学研制的基于混合微加工技术的硅微谐振式加速度计零偏稳定性也已达，国内很多机构也正致力于这方面的研究，并取得了一定的成果。
