文献综述
文 献 综 述随着现代科技的发展，各种零件和产品对材料表面的力学性能要求越来越高，阵列微结构的表面应运而生。
在一定条件下，阵列金属微结构的表面能够有效地改善机械零部件表面的力学性能，尤其是长期负载的零部件。
具体表现在提高零件的承载能力，增强耐磨损性，减小粘附力和摩擦阻力。
此外表面的细微柱状阵列结构能够很好地起到储油润滑的作用，减少表面零件的磨损，延长机械零部件的使用寿命，降低能源损耗。
阵列金属微结构的表面仅仅依靠其表面的细微结构就能起到很好的减小摩擦效果，所以阵列金属微结构能够在工程机械、现代交通、现代化工等领域得到广泛应用。
随着微机电系统技术的发展,面向微机电器件的金属微结构得到了越来越多的应用。
金属微结构的制作方法有多种,其中掩膜电解加工方法以其成本低、污染小、工具电极无损耗、加工效率高等优点,在微细制造领域具有广阔的应用前景。
本文分析研究了基于掩膜电沉积制备阵列金属微结构的方法分析研究过程中出现的问题以及解决办法。
秦歌，周奎，明平美等[1]研究了以胶体晶体为掩膜采用电沉积方法在金属零件表面制作周期性排列的微坑阵列的工艺过程。
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