抽指双加权延迟线型SAW压力传感器的设计文献综述

文献综述

本课题的现状及发展趋势：

SAW传感器作为SAW技术的一个热门分支，其市场应用极为宽阔堪比SAW滤波器，但是这一技术在国内发展基本上还是理论研究方面，处于幼儿阶段。但是也有一些学者研究出了较为先进的技术以及理论，例如王文的专利－具有单相单向结构的延迟线；武以立等人所著的书籍《声表面波原理及其在电子技术中的应用》从理论上讲解了声表面波器件的原理以及一些问题的解决方案等，而且，在国内，还有源源不断的人才投入到声表面波器件的研究工作中。而在国外，这一技术则相对较为成熟，从19世纪80年代左右，英国物理学家瑞利在研究地震波时发现声表面波，特别是在1965年，美国的怀特和沃尔特默发表题为“一种新型声表面波声——电转化器”的论文，取得了SAW技术的关键性突破，则有了能在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器（IDT）的发明，大大加速了SAW技术的发展，而后在20世纪80年代至90年代，利用SAW技术研制的SAW传感器在欧美和日本发展十分迅速，目前已经出现了很多种类型的SAW传感器。例如SAW加速度传感器、压力传感器、温度传感器、浓度传感器等。从国内外现状来看，这项技术正处于快速发展的阶段，而且，目前已经取得很大的进步。

声表面波器件所具有的不同于电磁波和体波的特殊性质使得SAW器件在许多领域得到了广泛的应用，目前已经研制成功或正在研制的SAW器件主要包括：滤波器、延迟线、振荡器、混频器、放大器、卷积器、相关器、编码器、声光调制器、声光偏转器、声光开关、超声马达、射频标签和传感器等。特别是其作为一种快速、超小型的频率控制、选择和信号处理器件，对于电子和通信系统的发展起着极为重要的作用。而且，其具有低功耗、易集成、体积小、易于量产等优点，为其提供了极为广阔的发展前景，目前，SAW器件正在朝着GHz频段到20GHz频段的超高频化发展。

本课题的价值：

近年来，由于SAW传感器以声表面波，即沿表面或界面传播的各种模式的波作为媒介来感知温度、压力、湿度、化学气体、液相的变化，而且这种技术与比半导体和光纤传感器相比具备多方面的优势，进而结合MEMS和IC工艺，能够适应高精度、高灵敏度、小型化/便携式、多功能集成化/低成本、智能化与无线传感网络的发展趋势。得到广泛的关注以及研究开发，然而由于传统的传感器以及已经出现的各自有其用处及特定的特性和一定的缺陷，所以通过一些加权函数来改变波形从而消除不必要的误差以及某些影响很有必要。故本课题研究对于SAW传感器的研究发展具有一定的促进作用。

参考文献：

[1] 温传敬. 声表面波及其在声光可调谐滤波器中应用的研究[D]. 天津: 天津大学, 2006.4-47.

[2] 王文. 具有单相单向结构的声表面波延迟线[P]. 中国专利: 200410003479.0,2009-12-16.

[3] 武以立, 邓盛刚, 王永德. 声表面波原理及其在电子技术中的应用[M]. 北京: 国防工业出版, 1983.1-254.