1. 研究目的与意义
背景：
微电子机械系统(mems) 是20世纪80年代末在美f国、日本等发达国家兴起的一种综合性的高新科学技术，其指将微机械和信号处理电路集成在一起的可以完成某种特定功能的系统。纳机电系统(nems)是20世纪90年代末、21世纪初基于mems技术提出的一个新概念，其特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米尺度结构所产生的新效应为特征[1]，是mems在纳米尺度上的再现。由于mems、nems巨大的应用前景，自问世以来就受到各国政府和学者的普遍关注，是当前科技界的热门研究领域之一。
目的：
2. 研究内容和预期目标
研究内容：
制备三维纳米结构的方法多样，其中可控性最好的生长方法为自卷曲法。该方法在2000 年由prinz 提出，一经提出人们就看到其巨大的应用潜力。自卷曲法是一种结合“自上而下”和“自下而上”手段来制备三维纳米结构的新技术。在该方法中应变二维薄膜选择性腐蚀脱离基底后自组装的卷曲成三维结构。当薄膜只包含两个原子层时，卷曲结构的内径可以小到2nm。自卷曲法最大优势在于，它可以同时实现三维纳米结构的可控、自组装以及大批量集成生长。本课题旨在研究自卷曲制备方法，及用该方法制备得到的纳米结构的性质及应用。
3. 研究的方法与步骤
由于研究的是纳米螺旋材料的卷曲机制，因此先了解纳米材料的基本组成单元，分类，应用以及优越性能，目前研究状况 ，制备纳米材料的各种方法 。通过阅读翻译参考文献．了解微纳螺旋制备研究概况，即掌握
（1（1）自卷曲法原理
（2) 自卷曲法制备方法
4. 参考文献
1.1.周兆英, 杨兴. 微/纳机电系统[j]. 仪表技术与传感器, 2003(2):1-5.
2.2.stowe t d, yasumura k, kenny t w, et al. attonewton force detection using ultrathin silicon cantilevers[j]. applied physics letters, 1997, 71(2):288-290.
3.3.erbe a, blick r h. silicon-on-insulator based nanoresonators for mechanical mixing at radio frequencies[j]. ieee transactions on ultrasonics ferroelectrics frequency control, 2002, 49(8):1114-1117.
5. 计划与进度安排
1.第七学期4-8周：对本学院教师提出命题要求，布置任务，教师命题；
2.9-11周：指导教师填写毕业论文题目申报表，经系部和学院审核，然后进入毕业论文智能管理系统进行毕业论文题目申报。专业负责人完成课题的审核，教学院长完成课题的发布。
3.13—16周：学生网上选题，视学生选题情况作适当调整。选题结束，指导老师向学生下达任务，学生根据要求收集资料。
