1. 研究目的与意义
背景：微机电结构(micro-electromechanicalstructure，mems)因尺寸小、成本低，性能优良，而广泛应用于生产生活领域中。目前已有许多不同种类的微机电装置被创造出来，包括微齿轮、微马达等能够移动或施力的装置。而热驱动器是mems器件的最基本结构单元，是实现各种功能的基础。在众多的驱动技术中，电热驱动技术是一种驱动方式新颖的后起之秀，自从1988年来第一个电热驱动的硅微驱动器被研制出来，20多年来通过众多研究人员的努力，得到了长足的发展，研制出了各种各样的应用产品。
目的：设计一种双热臂水平热驱动微型执行器用于低电压操作和精确控制，在电热作用之下，这种微动执行器产生的位移，起到微开关的作用。模拟结果可与文献记载的实际器件测试性能进行对比。通过本论文的研究经历， 熟悉基于双热臂水平热驱动微型执行器的理论知识及应用。
2. 研究内容和预期目标
研究内容：本论文将设计一种双热臂水平热驱动微型执行器用于低电压操作和精确控制，在电热作用之下，这种微动执行器产生的位移，起到微开关的作用。模拟结果可与文献记载的实际器件测试性能进行对比。
3. 研究的方法与步骤
研究方法：认真复习本科阶段学习的基础课程：固体物理、半导体物理与器件等，掌握微机电系统相关的一些基本理论和基本方法，并且阅读大量相关中英文资料（相关的文献书籍、数据库查阅的相关论文资料），学习器件结构设计软件和有限元模拟软件的使用。
步骤：（1）根据老师给出的文献查阅并且阅读大量相关中英文资料，了解论文课题的背景，研究的课题在应用方面的进展以及对未来其他领域的影响。
4. 参考文献
[1]h. a. c. tilmans, w. d. raedt, and e. beyne, mems for wireless communi-cations[j], j. micromech. microeng., vol. 13, jun. 2003, pp. 139-163.
[2]l. w. ke, y. j. chan, and y. c. chiang, monolithic microwave algaas/inga- asdoped-channel fet switches[j], microwave opt. technol. lett., vol. 13,no. 1, sep. 1996, pp. 47-49.
[3]k. kawakyu, y. ikeda, m. nagaoka, and n. uchitomi, a novel resonant-type gaasspdt switch ic with low distortion characteristics for 1.9 ghzpersonalhandy-phonesystem[j], ieee mtt-sint. microwave symp. dig.,san francisco,ca, jun. 1996, pp. 647-650
5. 计划与进度安排
1)2022.12.9 — 2022.2.23 指导教师与学生联系，学生根据要求收集资料
(2)2022.2.24 — 2022.3.1 下达毕业任务书
(3)2022.2.24 — 2022.3.8 学生完成开题报告
