1. 研究目的与意义（文献综述）
sno2半导体传感器被广泛应用检测易燃或有毒气体中，这类传感器在清洁的空气中的电导很低，但是在还原性气体中的电导会增加，而且具有高敏感性，能检测出较低浓度的气体。sno2薄膜由于强度好，具有优良的化学稳定性，在室温下有很强的抗酸碱腐蚀能力，研究表明晶粒线度为1-100nm的薄膜具有多孔柱状结构、比表面积大、功耗低；其制备工艺可与平面工艺相结合，有利于集成化，且所用原料价格便宜。sno2检测气体的原理是:sno2表面在空气中通常都会出现氧气的吸附，由于氧气电子亲和能大于半导体表面逸出功，将从sno2获得电子形成负离子(o2-、o-)，其中工作温度＜150℃时，主要形成o2-;工作温度150－400℃时，主要形成o-;工作温度＞400℃时，主要形成o2-。氧吸附在sno2表面，从半导体表面得到电子而形成受主型表面态，而sno2形成分层的电子结构，外层是高阻值的电子耗尽层，而内层保持着n型半导体的性质
这类传感器最大的缺点是缺乏选择性，在混合气体中测量某种气体时往往会受到干扰气体的影响，所以改善传感器的选择性尤为重要。
为提高传感器的选择性，有很多种方法，如：
2. 研究的基本内容与方案
2.1基本内容
- 传感器制备：
1、制备sno2粉末
2、将sno2粉末与印油混合，用丝网印刷法制备厚膜气体传感器，干燥后烧结600℃×2h，制得sno2厚膜传感器。
3. 研究计划与安排
第1-3周：查阅相关文献资料，完成英文翻译。明确研究内容，了解研究所需原料、仪器和设备。确定技术方案，并完成开题报告。
第4-8周：sno2、sio2改性层、气体传感器制备、结构、形貌表征。
第9-12周：传感器信号测量。
4. 参考文献（12篇以上）
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