1. 研究目的与意义
目的：微加速度计的种类有很多，按工作原理可分为：电容式、压阻式、压电式、热流式、隧穿式、谐振式和光电式等。
本次论文主要研究的是电容式硅微加速度计，目的是了解工业级硅微加速度计基本原理及结构，在此基础上研发带有静电力反馈回路的闭环加速度计并实现理论设计。
意义：随着mems技术的发展，以及硅微加速度的商业和军事价值的提高，微加速度计一直成为微机电系统领域和微传感器领域内研究热点。
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2. 国内外研究现状分析
国外：当今，mems技术的发展受到美国、日本、俄罗斯和欧洲各国的高度重视，纷纷投巨资加以研究。
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1978年，美国stanford大学在世界上首先制造出了开环硅加速度计。
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3. 研究的基本内容与计划
内容：1、国内外研究状况，研究的目的与意义。
目前研究生产硅微加速度计的国外公司主要有：美国的斯坦福大学、ad公司、draper实验室、利顿公司等。
近年来我国的加速度传感器技术有了长足的进步，但是与发达国家相比特别是集成加速度传感器方面仍有较大差距，，因此设计和开发具有自主知识产权的高性能加速度计，对于我国有着重要的现实意义。
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4. 研究创新点
本文重点在于研发静电力反馈回路的闭环加速度计并完成仿真。
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