零件表面三维粗糙度评定方法研究开题报告

1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述1．课题背景及发展现状：在飞速发展的21世纪，信息、生物技术、能源、环境、先进制造技术和国防的高速发展必然会对零件表面粗糙度提出更高的要求，元器件的智能化、小型化、高集成、高密度存储和超快传输等要求材料的尺寸越来越小，零件表面粗糙度无疑是研究领域中最富有活力、对未来经济和社会发展有着十分重要影响的研究对象。

而传统用于表面特征测量评定的粗糙度测量仪仅基于一段二维轮廓, 二维粗糙度评定参数由于信息量的限制, 它不能全面准确地反映零件表面的形态, 而三维分析法明显优于二维分析法, 三维参数是从区域表面而非轮廓轨迹获得, 具有整体特性, 因此其统计特性好, 误差小。

三维分析已成为当前粗糙度领域研究的一个重要方向。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题主要研究内容围绕着采样方法和参数的确定。

具体可分为以下两个方面:1、三维采样方案三维采样方案主要是指在三维形貌测量过程中触针相对于二维工作台在水平方向上的运动方式和轨迹, 这要通过控制二维工作台两个方向的伺服电机来实现。

通过激光干涉条纹只能测出位移的增量, 并用数字脉冲的个数来表示单位位移, 因此该系统属于增量式测量系统, 位移的距离由增量值累积求得。