1. 研究目的与意义
2. 研究内容和预期目标
研究内容：设计一种具有高纵横比（ar）的新型单悬臂式横向驱动的压电双晶片mems驱动器结构及其制造工艺，并采用有限元模拟的方式得到器件工作的相关理论值，其结果可与文献发表的实际器件的测试性能对比。
预期目标：近年来许多文献提出了基于压电陶瓷的横向驱动器的结构的研究，与静电驱动器相比，压电驱动器是用于mems的另一代表性致动器。与被广泛研究的静电等方式相比，压电陶瓷方式所需的驱动电压低，压电致动器的功率密度高于静电致动器。通过本论文的研究经历， 熟悉基于压电陶瓷的横向驱动器的理论知识及应用。
3. 研究的方法与步骤
研究方法：认真复习本科阶段学习的基础课程：固体物理、半导体物理与器件等，掌握微机电系统相关的一些基本理论和基本方法，并且阅读大量相关中英文资料（相关的文献书籍、数据库查阅的相关论文资料），学习器件结构设计软件和有限元模拟软件的使用。
4. 参考文献
[1] chen b, miao j and tay f e h. fabrication and characterization ofdrie-micromachined electrostatic microactuators for hard disk drives[j]. microsyst. technol., 13, 2007: 11–9.[2] gu l, li x, bao h, liu b, wang y, liu m, yang z and cheng b.single-wafer-processed nano-positioning xy-stages with trench-sidewall[j].micromachining technology j. micromech.microeng. 16, 2006: 1349–57.
[3] 张永华, 王艳, 丁桂甫等.一种新型mems微驱动器的设计与仿真分析[j]. 传感器与微系统, 12, 2006: 85-88.
[4] 石松宁, 王大志, 时统宇. 永磁驱动器的多目标参数优化设计[j]. 控制工程, 21(3), 2004: 369-373.
5. 计划与进度安排
1. 第1周（2022年2月25日-2022年3月3日）：下发毕业论文任务书；
2. 第1-2周（2022年2月25日-2022年3月10日）：学生完成开题报告；
3. 第3-14周（2022年3月11日-2022年5月31日）：毕业论文写作；
