1. 研究目的与意义
1.1背景：氢致晶格膨胀（hile）型氢气传感器响应速度快，电阻变化大，尤其适合氢气泄漏检测。hile型的传感器有赖于对纳米间隙尺寸的精确控制。但是目前可以精确控制纳米间隙的方法，如聚焦离子束，不仅产率低而且成本高，难以实现批量大规模生产。
1.2目的：生活中经常使用的光盘背面存在纳米尺度的周期性结构。本论文旨在使用生活中常见的光盘为基板，利用其背面纳米周期性结构制备pd基hile型氢气传感器，研究沉积角度、沉积速率、衬底温度等参数对其氢敏性能的影响。
2. 研究内容和预期目标
2.1主要研究内容：
本项目旨在使用生活中常见的光盘为基板，利用磁控溅射技术利用光盘的周期性纳米结构上制备pd基hile型氢气传感器。主要研究内容包括研究沉积角度、沉积速率和沉积压强等参数对pd纳米间隙结构的影响，以及不同纳米间隙结构对其氢敏性能的影响。
3. 研究的方法与步骤
3.1研究方法：
光盘纳米结构使用机械剥离法制备，pd膜沉积使用磁控溅射，沉积角度调节使用自制样品架，光盘结构和pd纳米间隙结构使用afm、台阶仪等方法表征。pd膜微结构使用afm、xrd和台阶仪等表征方法。样品对氢气的电阻响应采用自行设计搭建的高精度、自动化气体传感器测试系统。
3.2研究步骤：
4. 参考文献
[1] adams, b.d., a. chen. the role of palladium in a hydrogen economy[j]. materials today, 2011, 14(6): 282-289.
[2] bardhan, r., et al. uncovering the intrinsic size dependence of hydriding phase transformations in nanocrystals[j]. nature materials, 2013, 12: 905-912.
[3] jang, b., et al. thermal stability of the sensing properties in h2sensors composed of pd nanogaps on an elastomeric substrate[j]. sensors and actuators b: chemical, 2017, 240: 186-192.
5. 计划与进度安排
(1) 第七学期4—11周: 毕业论文命题，对本学院教师提出命题要求，布置任务，教师命题。
(2) 12—13周：毕业论文课题申报、审题，指导教师填写毕业论文题目申报表，经系部和学院审核，然后进入教务系统进行毕业论文题目申报。
(3) 14—18周：学生网上选题学生网上选题，视学生选题情况作适当调整。选题结束，指导老师向学生下达任务，学生根据要求收集资料。
