1. 研究目的与意义
1.1背景
目前氢气传感器的研究工作多集中于各类氧化物纳米敏感材料的微结构调控对其氢敏性能的影响，这一方面的研究虽然论文成果非常丰富，但是真正在产业中获得应用的非常少。此外，各类氧化物敏感薄膜的电信号在遇到氢气时容易饱和，无法探测高浓度氢气。
1.2目的
2. 研究内容和预期目标
本项目目标是基于pd/ni合金薄膜制备氢气传感器，研究内容主要采用共溅射法制备pd/ni合金薄膜，研究沉积参数对pd/ni合金薄膜的厚度、晶粒尺寸、化学组分等参数的影响；开展氢敏性能测试研究上述参数对pd/ni合金薄膜的氢敏性能尤其是灵敏度和稳定性的影响。
预期目标：掌握合金薄膜的化学组分，晶粒尺寸等参数对其氢敏性能尤其是灵敏度和稳定性影响。
3. 研究的方法与步骤
3.1研究方法：
采用磁控溅射技术制备pd/ni薄膜。用原子力显微镜、x射线衍射仪、表面台阶仪等仪器表征pd/ni薄膜的微结构。系统研究沉积条件对pd/ni薄膜的微结构以及厚度的影响，并测试薄膜对氢气的灵敏性和稳定性。
3.2研究步骤：
4. 参考文献
1. feng, y. and m. wang, micro hydrogen sensor based on pd-agnanofilm. rare metal materials and engineering, 2006. 35: p. 25-28.
2. lee, e., et al., hydrogen gas sensing performance of pd-ni alloy thin films. thinsolid films, 2010. 519(2): p.880-884.
3. maier, r.r.j., et al., palladium-based hydrogen sensing formonitoring of ageing materials. measurement science technology, 2006. 17(5): p. 1118-1123.
5. 计划与进度安排
1.2022年2月25日-3月3日，下发毕业论文任务书，学生了解所选论题的状况和要求。
2.2022年2月25日-3月10日，学生提交开题报告等材料（开题报告、外文翻译等），指导教师审核开题报告。
3.2022年3月11日-5月31日，学生按开题报告撰写论文。
