1. 研究目的与意义
金属薄膜在微电子工业中具有广泛的应用，可以用作电极、电阻层等。随着电子器件的小型化，金属薄膜质量结构形态对器件性能的影响显的尤为重要。真空蒸发技术是制备金属薄膜的一项重要技术。真空蒸发镀膜已经具有几十年的使用历史，其在制造等行业的应用范围十分广泛。真空蒸发镀膜是利用高度真空条件，在真空室当中通过加热蒸发容器，对形成薄膜的原材料进行加热，使原材料分子或是原子从表面逸出，形成蒸汽流，并入射到基片的表面，凝结成为固态薄膜，达到薄膜制造的目的。本课题旨在调研蒸发技术制备薄膜的原理和设备，使用电阻加热或者电子束加热制备不同金属薄膜，利用测试技术对制备的薄膜进行相关性能测试。
2. 研究内容和预期目标
研究内容：1.通过调研了解金属薄膜的制备方法和应用情况；
2.学习蒸发法制备薄膜材料的原理和相关设备的应用；
3.掌握热蒸发制备金属薄膜的技术和薄膜相关性能测试技术；
3. 研究的方法与步骤
研究方法：1.查阅各类关于蒸发法制备金属薄膜和测试薄膜性能的文献，了解蒸发法和一些 测试方法的的特点和应用。
2.采用热蒸发法成功制备金属薄膜。
3.利用扫描电子显微镜或者Ｘ射线衍射仪研究金属薄膜的形貌和物相结构。
4. 参考文献
[1] 罗银燕,朱贤方.电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响[j].物理学报,2011,60(08):491-496.
[2]孟祥福. mg-al复合薄膜的制备与性能的研究[d].西南科技大学,2016.
[3]孟祥福,曹林洪,蒋晓东.真空蒸发制备的镁/铝复合薄膜及其抗氧化能力[j].电镀与涂饰,2016,35(04):194-197.
5. 计划与进度安排
第七学期 2022.11.27与指导教师见面，了解毕业论文总体情况，完成查阅文献资料任务；
第八学期：
1周 2022年2月24日-3月1日 了解毕业论文任务书，再次向老师了解所选论文题目的状况和要求等；
