基于石墨烯的二维材料的机械剥离方法研究开题报告

 2021-10-24 03:10

1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)

一、引言:80多年前,landau和peierls认为严格的二维晶体在热力学上是不稳定的,不可能存在[1、2]。

事实上,随着厚度的减小,薄膜的熔化温度会迅速降低,当厚度为几十个原子层时,薄膜就会变得不稳定(分离成岛或分解)[3、4]。

直到2004年,石墨烯[5]和其他独立的二维原子晶体(例如单层氮化硼和半层bscco)的实验发现,才打破了人们的普遍认知。

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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

1.通过机械剥离方法得到石墨烯起始材料为1毫米厚的高定向热解石墨片晶。

在氧等离子体中使用干蚀刻:首先在片晶的顶部准备一个5μm深,20μm到2mm的方块平台,然后将其结构表面压在一层1微米厚的新鲜的湿光刻胶上,该光刻胶在玻璃基板上旋转。

烘烤后,台面附着在光刻胶层上,这样就可以把它们从剩下的高定向热解石墨样品上切割下来。

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