超高真空计中微电流放大电路的设计文献综述

 2022-10-30 10:10

文献综述(或调研报告):

1.引言

在本综述中,首先阐述了热阴极电离规的相关知识,包括热阴极电离规管的结构和工作原理,并对真空计的发展概况和趋势做了介绍,为电路设计的方向提供理论指导;然后,又重点介绍了微弱电流信号检测的相关情况,从多个角度对微弱信号进行了分析,尤其是其在真空计中的应用;最后,整理了数字信号处理的相关知识,主要是去除噪声、消除系统误差等的一些滤波算法。这三个方面,由浅入深,使得该课题中涉及的内容都有相应文献的辅助。

2.热阴极电离规真空计的相关知识和发展现状

2.1. 热阴极电离规规管结构和工作原理

热阴极电离真空计规管类似一支三极管,如图1所示,由筒状板极(离子收集极)C,加速阳极栅网A和位于栅网中心的阴极灯丝F构成,筒状板极在加速阳极栅网外面。

图2是其简化的测控电路,栅极电位在 100~ 300V之间,板极的电位在0~-50V之间。阴极灯丝F通电发热后便发射电子,由于阳极栅网A为正电压,发射出的电子被加速,电子与内部的气体分子相碰,使气体分子发生电离,气体压强大,气体的密度就大,碰撞机会越多,产生的正离子也越多。正离子在筒状板极负电压的作用下,吸引正离子形成板极电流,气体分子密度越大(即压强越大),板极电流也越大,反之就小。在测量范围内板极电流与被测压强成正比。

1.加速极A

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