1结合毕业设计（论文）课题情况，根据所查阅的文献资料，每人撰写2000字左右的文献综述：
1 发展背景
随着科学技术和制造技术的发展，满足各种不同功能需求的多样化表面不断出现，从统计性形貌特征表面发展到结构性表面，从简单几何表面发展到自由曲面，从微米精度发展到纳米精度要求，对表面形貌测量技术提出了越来越高的新的要求。
2 发展历程
2.1 表面三维形貌测量方法
2.1.1 机械探针法
机械探针法是目前应用最广泛、研究最深入的接触式表面形貌测量方法，轴向分辨率可达 0.1nm；横向分辨率与探针针尖半径和待测件表面形貌特征有关，一般可达0.2mu;m。但由于测量时探针与待测件表面接触，针尖不可避免与待测件表面摩擦，因此会对待测件表面造成一定程度的划伤，易改变待测件表面形貌特征。
2.1.2 扫描探针法
扫描探针法分为光学探针式测量法和扫描探针式测量法。光学探针式测量法是将聚焦光束作为探针，利用光束进行表面形貌扫描的一种方法。光学探针式测量法虽然精度较高，但对系统的光学对焦却要求非常高，难以精确控制。轴向分辨率可达1nm，横向分辨率可达0.1mu;m；扫描探针显微镜水平分辨率可达1nm，垂直分辨率可达0.001nm；但其测量范围较小并且要求待测件表面导电，限制了在实际生产中的应用。
2.1.3 干涉显微测量
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