文献综述
电解加工是根据电化学溶解原理来对阳极金属进行材料去除的一种加工方法,加工精度是目前电解加工中的关键性问题。
现有实验表明,在电解加工中使用辅助电极可以控制其电场线的分布,从而对加工精度有所改变。
为了揭示辅助电极对电解加工影响的机理,找出其中作用的规律,为主动控制辅助电极来提高加工精度奠定基础,设计和建立辅助电极电解加工微锥阵列的工艺方案，分析在使用辅助电极情况下对微锥阵列加工的精度的影响。
关发龙，翟科，叶作彦等[1]掩膜电解加工是一种高效率、大规模加工微结构的特种加工方法。
然而,由于电流分布的边缘效应,在微结构的掩膜电解加工过程中往往存在着严重的加工尺寸不一致问题。
针对这一问题,本文提出了一种移动阴极式掩膜电解加工方法。
首先,利用COMSOL有限元分析软件对微沟槽阵列掩膜电解加工过程中的电流分布和阳极轮廓形状进行了数值仿真。
仿真结果表明,相对于常规阴极结构的掩膜电解加工,采用移动阴极结构的掩膜电解加工方法能够获得尺寸更加均匀的微沟槽阵列结构。
其次,在数值仿真的基础上,开展了掩膜电解加工实验研究。
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