大深径比钨小孔的电化学放电加工工艺研究文献综述

文献综述

文 献 综 述随着科学技术的日新月异，精密设备的使用材料和加工工艺要求逐步提高，高新技术行业对微型构件的需求使微机电系统得以迅速发展。

在微机电系统中，微型孔类零件是最为常见的、也是最基础的微器件，被大量应用于航天航空、微电子、军工等众多领域，尤其在航空发动机关键部件中出现越来越多微小孔结构。

电火花加工技术是微小孔加工的主要工艺之一，但对于大深径比微孔加工，现有的电火花加工工艺能力仍无法满足加工需求。

针对纯钨材料微小孔电火花加工中的深径比难以提升的问题，分析了电蚀产物在孔底累积对放电过程造成的不利影响，找到了制约微孔电火花加工深径比提升的关键因素，即需有效排出孔底电蚀产物，确保放电过程处于干净环境。

在此基础上，提出了在电火花加工中引入电化学作用，利用电化学作用产生的气泡驱动电蚀产物排出，确保大深径比孔底放电过程不受电蚀产物积聚的影响进而提高加工深径比的方法。

电化学加工是特种加工的一个重要分支，在1956年正式进入工业应用，已经过了一个较长的发展过程，现今已成为一种较为成熟的特种加工工艺。

顾名思义，电化学加工最主要是金属工件在电解液中发生阳极溶解(电解)去除的一种加工过程一一称为电解加工。

但是除了在工件上去除材料(阳极溶解)外，也可以利用电化学阴极沉积的作用进行成型加工一一电镀及电铸。

通常把前者称为减材加工(去除材料)，后者称为增材加工(材料沉积)。