1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
1、课题研究的背景和意义进入21世纪以来，电子元器件正高速朝着微型化、高速化、高密度、功耗大、功能种类多的方向进行发展,微电子设备的单位面积热流密度逐步升高。
台式电脑、服务器、工作站cpu所需要散热的功率可达80120w，一块 pentium4 2.4g的cpu加上了极限电压后其发热量是十分巨大的，保守估计功耗接近100w[1]。
目前，最常用且最简易的热管理方法有自然对流散热方法和强制对流散热方法。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
1. 研究的问题本课题要求在查阅大量文献资料的基础上，拟通过磁控溅射泡沫金属，制备具有不同润湿性能的泡沫金属吸液芯，设计一个泡沫金属吸液芯平板热管，以水为工质，通过理论计算其传热极限和热阻等传热性能。
2.研究方法（1）通过磁控溅射方法磁控溅射的方法，分别选用30ppi、70ppi、110ppi、150ppi的泡沫铜作为基底，通过实验测试以及表征，确定纳米氧化锌磁控溅射的最佳溅射厚度。
（2）设计一种泡沫金属吸液芯热管，包括热管的设计和热管的制造工艺。
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