1. 研究目的与意义
一．研究背景
静电封接主要是采用阳极静电键合的方法，键合就是通过某种特定的途径将两种不同或相同的材料连接成一体的过程，即可以把玻璃与半导体材料或者金属材料封接在一起，具有很强的结合力，在力敏传感器制作中有重要的应用。
二．研究目的
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2. 研究内容和预期目标
一．研究内容
1．调研静电封接的原理和应用情况；
2．学习真空静电封接设备的使用方法；
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3. 研究的方法与步骤
一．研究方法：控制变量法。
二．步骤：
1．接通水、气源，开总电源。使封接状态开关处于“真空”位置。
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4. 参考文献
1.吴登峰.阳极键合工艺与设备的研究[d].2003.5.1.
2.曹欣,李宏,杜芸.阳极键合强度及其评价方法.传感器与微系统[j].2007,26(3)：10-16.
3.包振远,张文标.静电封接技术概述.仪表技术与传感器[j].1992（2）：21-22.
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5. 计划与进度安排
第七学期 :2022.11.26与老师见面，了解毕业论文总体情况，并且查阅文献资料；
第八学期：
1周 2022年2月25日-3月3日认真阅读毕业论文任务书，再次明确所选论文题目的状况和要求等；
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