1. 研究目的与意义
背景：微小型化始终是当代科技发展的重要方向，系统的微小型化具有广阔的发展空间和重要意义。mems(微电子机械系统技术）被誉为21世纪带有革命性的高新技术，它的诞生和发展是“需求牵引”和“技术推动”的综合结果。微机电结构(micro-electromechanicalstructure，mems)因尺寸小、成本低，性能优良，在生产生活领域得到了广泛的应用。目前已有许多不同种类的微机电装置被创造出来，包括微齿轮、微马达等能够移动或施力的装置。这些装置极大的满足了人们的生产生活需要。
目的：目前可动式微机电装置已经取得了重大进展，但仍然有许多不足，许多方面还需要进一步改善，本论文将设计一种新型的微型xy级，由双热臂水平热驱动微型执行器与压阻式传感器（ps）集成，用于低压操作和精确控制。
2. 研究内容和预期目标
研究内容：设计一种mems热敏驱动器：将两种膨胀系数不同的材料粘合在一起，当温度发生变化时，两种材料热膨胀的程度就不会相同，因此发生弯曲变形。通过计算机模拟分析，问实际尺寸提供参考，并研究mems热敏驱动器响应时间和驱动电压值，探讨其与传统驱动器相比较的优劣性，确定其在实际生活中应用的可行性，方便性等。
预期目标：设计出一个mems热敏驱动器，并用计算机软件（包括cad，comsol）计算模拟出它的响应时间、驱动电压值和温度分布。
3. 研究的方法与步骤
研究方法：掌握微机电的一些基本理论和基本方法，并且阅读大量相关中英文资料（相关的文献书籍、数据库查阅的相关论文资料），掌握相关计算机结构设计软件和有限元分析软件。
步骤：
（1）模拟设计MEMS三维驱动器结构，通过输入电流产生的热效应，实现热敏驱动器的工作。
（2）有限元模拟。对设计的MEMS热敏驱动器进行有限元模拟测试。模拟过程中通过改变某一单一条件，而另外条件不变，观察数据及结果。
（3）逐一改变单一条件，反复进行多次模拟计算，统计所需要的数据并进行处理。
4. 参考文献
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[7] 周雪丽，李世中，一种新型MEMS开关微驱动器研究与仿真[J], 功能材料与器件学报，5, 2014:112-116.
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5. 计划与进度安排
1. 第1周（2022年2月25日-2022年3月3日）：下发毕业论文任务书；
2. 第1-2周（2022年2月25日-2022年3月10日）：学生完成开题报告；
3. 第3-14周（2022年3月11日-2022年5月31日）：毕业论文写作；
