1. 研究目的与意义
背景：随着科学技术的发展，对气体压力准确实时监测已经成为当前工业、民用等领域急需解决的问题。压力传感器是传感器系统中应用最为广泛的一类传感器， 在航天、航空、国防科研、能源、交通、冶金化工、环保和材料等诸多领域的精密测量、自动控制中起着举足轻重的作用。经过半个多世纪的发展， 已制造出了种类繁多的气体压力传感器，如电阻型、电容型、电感型、谐振型和压电型。目的：了解mems气体压力传感器的工作原理和工艺技术，跟踪目前基于mems技术的气体压力传感器的研究前沿，设计一种基于压阻原理的传感器结构，并用有限元软件对压力传感器的响应时间，灵敏度等物理参数进行了分析和计算。
意义：随着科技的日益发展, 对传感器体积、精度、量程和抗干扰能力提出了更高的要求。以往的气体压力传感器量程都比较小, 只横跨2～3个数量级, 并且尺寸较大, 精度和抗干扰能力也不能满足当今的工业要求。而基于mems技术的气体压力传感器具有宽量程、微型化、高精度、集成化的特点，这些特点是以往传统气体压力传感器所不具备的。
2. 研究内容和预期目标
研究内容：
本文应用mems技术，设计一种气体压力传感器：当气体压力发生变化时，材料产生形变，并由此产生电信号。
预期目标：
设计出一个mems气体压力传感器，并用计算机软件（包括cad，comsol等有限元模拟软件）计算模拟出它的响应时间、驱动电压值和压力分布。
3. 研究的方法与步骤
研究方法:计算机软件模拟与分析。步骤：
（1）模拟设计mems气体压力传感器，通过施加不同的气体压力使得材料产生形变并转化为电信号。
（2）有限元模拟。对设计的mems气体压力传感器进行有限元模拟测试。测试过程中通过改变某一单一条件，而另外条件不变，观察数据及结果。
4. 参考文献
（1）李黎明，ansys有限元分析实用教程[m]，北京：清华大学出版社，2005: 233-254（2）黄继昌，徐巧鱼，张海贵，传感器工作原理及应用实例[m]，北京：人民邮电出版社，1998:160
（3）祝效华，余志祥，ansys高级工程有限元分析范例精选[m]，北京：电子工业出版社，2004: 526-570
（4）thanh nam tran，robert waldingbrett，analyse and simulation of a thermal actuator for variable mems capacitor[j]， project sen2met autumn 2010.
5. 计划与进度安排
1.2022年3月1日-2022年3月12日：查看任务书并按要求完成开题报告，交予指导老师审核。查看外文文献并翻译。2.2022年3月13日-2022年5月21日：按开题报告及任务书完成论文撰写工作。
3.2022年4月17日-2022年4月30日：向指导老师汇报课题进展情况，并回答老师提问。
4.2022年5月8日-2022年5月14日：完成论文初稿并交予指导老师审阅，请老师提出意见。
