1. 研究目的与意义
背景：近年来各种功能薄膜应用技术的快速发展，推动着衬底处理工艺的不断发展，原子级别光滑的表面已经不能满足科研工作人员的需求，人们更希望获得单一原子终端表面的单晶衬底或氧化物材料来更好地控制表面和界面结构，因此科研人员对衬底材料表面的处理技术有了更高的要求。
目的：本课题探讨当今常见的几种钙钛矿氧化物单晶衬底表面处理方法，并总结出一般氧化物单一终端表面的获取方法和途径，进而推测出其它新型氧化物单晶衬底可能的处理方法。
意义：近年来，越来越多实验表明利用具有单一终端表面的钙钛矿氧化物衬底可以获得一些新奇的现象和效应，因此如何获得具有单一终端表面的钙钛矿氧化物衬底成为研究这些新奇效应的首要问题。当前对srtio3单晶材料研究最多，也成功获得了sro和tio2终端表面的衬底材料，但是对其它单晶衬底材料的处理还做得比较少，有必要分析总结目前处理成功的一些方法，并运用到其它新型衬底材料上去，期望获得更多单一原子终端表面的衬底
2. 研究内容和预期目标
研究内容：通过相关文献阅读，归纳出多种氧化物单一原子终端表面的获取方法与途径。并分析各种方法的优缺点，从上述方法中探索可适用于某一种新型单晶衬底PMN-PT，BaTiO3等衬底的处理方法。处理PMN-PT衬底，并用原子力显微镜检查表面形貌，分析实验结果并预测可能的其他的处理衬底的新方法。
预期目标：能够获得BaTiO3等ABO3类型衬底材料的单一原子终端表面，能够熟练掌握原子力显微镜，管式炉和超声清洗器的操作，熟悉经过各个步骤处理后的基片材料的形貌，了解蚀刻和退火影响基片形貌和表面粗糙度的原因
3. 研究的方法与步骤
拟采用的研究方法：文献研究法、实验法、经验总结法、探索研究法
具体步骤如下：
1.阅读文献，找出目前处理成功的几种单晶基片材料。
4. 参考文献
1.王旭，费义艳，吕惠宾，金奎娟，朱湘东，陈正豪，周岳亮，杨国桢.用原子力显微镜研究经化学腐蚀和氧退火的srtio3(001)基片[j].中国科学g辑,2005,35(2):158-166.
2.陈光珠，杭寅，汪隽，何晓明，张连翰，李志鸿，华如江，何明珠.化学抛光和退火对钛酸锶基片表面改性研究[j]，人工晶体学报，2008，37(5):1107-1112.
3.刘明，刘志文，谷建峰，秦福文，马春雨，张庆瑜.蓝宝石基片的处理方法对zno薄膜生长行为的影响[j]，物理学报，2008，57(2):1133-1140.
5. 计划与进度安排
(1)2022年1月5日-1月16日指导教师完成在系统中毕业论文任务书的填写
(2)2022年3月2日-3月13日下达毕业任务书
(3)2022年3月9日-3月20日完成开题报告
