1. 研究目的与意义
钛酸钡是电子陶瓷元器件的基础母体原料,被称为电子陶瓷的支柱。由于它具有高的介电常数,优良的铁电压电、耐压和绝缘性能,被广泛地应用于体积小、容量大的微型电容器、电子计算机记忆元件、压电陶瓷等。锶掺杂改性的钛酸钡（钛酸锶钡，BST）仍然保持钙钛矿型晶体结构，同时具有高介电常数、低损耗等特点，是一种重要的铁电材料，在变容二极管，移相器，DRAM、可调谐滤波器和谐振器等可谐微波器件中的具有重要的应用价值，世界各国科学家对它做了集中而广泛的研究，在理论研究及应用方面取得了一系列积极成果。但是还有许多方面有待解决。
本论文采用阻抗分析法，研究钛酸锶钡电容器的介电特性的测试原理，进而对氧化物电容器的设计和改进提供有益参考。
2. 研究内容和预期目标
本论文将研究主要研究如下两点内容：
1．阻抗法测量bst薄膜的介电特性原理。
2．在三明治型bst薄膜电容器结构设计中，氧化物电极对介电特性测量的影响。
3. 研究的方法与步骤
本论文从3个方面着手进行研究，主要包括：
1.实验方面主要解决3个问题：
（1）制备bst靶材
4. 参考文献
1.p.bao,t.j.jackson,x.wang,m.j.lancaster,bariumstrontiumtitanatethinfilmvarctorsforroo-temperaturemicrowavedeviceapplications[j].journalofphysicsd:appliedphysics.2008,41(6):063001.
2.j.qiu,g.z.liu,j.sakai,f.gervais,j.wolfman,dielectrictunabilitytransitioninba0.6sr0.4tio3-basedcapacitors[j].journalofappliedphysics.2011,110(6):064114.
3．符春林，杨传仁，陈宏伟，胡文成，李文远，钛酸锶钡（bst）薄膜的制备与应用研究进展[j].电子元件与材料，200322(5):47-50。
5. 计划与进度安排
(1)2022年1月5日-1月16日指导教师完成在系统中毕业论文任务书的填写
(2)2022年3月2日-3月13日下达毕业任务书
(3)2022年3月9日-3月20日学生完成开题报告
