1. 研究目的与意义
背景:BaTiO3和SrTiO是钙钛矿结构的铁电氧化物材料，具有介电常数大，损耗低等特性，Ba1-xSrxTiO3（BST）是以上两种氧化物形成的固溶体，依然保持出色的铁电、介电等性质，它被人们认为是可调微波器件的一种重要的基础材料，其成份比例不同，介电性质会有很大的差别，钛酸锶钡薄膜具有介电常数较高、介电损耗较低、介电常数电压变化率大、极化速度快、耐击穿场强大等优点.其广泛用于动态随机存储器（DRAM）、热释电红外探测器、介质移相器、H2探测器等器件。
目的和意义：通过实验探究Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的微观结构和介电特性，并且与其它成分的BST相比较，从而确定最佳的钛锶比例成分的BST薄膜，为进一步开展相关工作提供实验依据。
2. 研究内容和预期目标
本课题主要研究内容和预期目标研究内容：
（1）bst薄膜的微观结构
（2）测量bst薄膜的介电特性预期目标：制备bst靶材和薄膜，并测量相关性能，为进
3. 研究的方法与步骤
本课题拟采用的研究方法、步骤
（1）制备钛酸锶钡靶材
（2）使用pld方法制备bst薄膜
4. 参考文献
1.p.bao,t.j.jackson,x.wang,m.j.lancaster,bariumstrontiumtitanatethinfilmvarctorsforroo-temperaturemicrowavedeviceapplications[j].journalofphysicsd:appliedphysics.2008,41(6):063001.
2.j.qiu,g.z.liu,j.sakai,f.gervais,j.wolfman,dielectrictunabilitytransitioninba0.6sr0.4tio3-basedcapacitors[j].journalofappliedphysics.2011,110(6):064114.
3．符春林，杨传仁，陈宏伟，胡文成，李文远，钛酸锶钡（bst）薄膜的制备与应用研究进展[j].电子元件与材料，200322(5):47-50。
5. 计划与进度安排
2022年3月17日2022年6月17日
1．12周指导教师向学生讲授所选论题的状况和要求等，下达毕业论文任务书。2.23周指导教师修改和审定学生论文开题报告，学生完成开题报告。
3.413周学生按开题报告撰写论文。
