1. 研究目的与意义
随着现代高科学技术产业的发展，不仅对多种物性的交叉与组合有要求外，还对电子器件的微型化和集成化有更高的要求，这就造成了对薄膜材料的研究逐渐成为热点。七十年代初，因为微电子学与信息科学发展，人们就意识到把传统的介电材料制作成薄膜形式。这种以薄膜形式出现的厚度在数十纳米和几微米之间的介电材料，会对各种微电子技术与光电集成电路元件方面的应用有极大的推动。
然后在七十年代末八十年代初，由于电子器件与光电子器件在微型化、集成化、智能化等方面的发展，制备薄膜的技术有了很大的突破，各种用铁电薄膜的介电性能制备的器件受到了大量科技工作者的关注，特别是根据铁电材料的可调谐特性设计出的介电可调微波器件，如相移器、谐波发生器等。这样发展得到的介电可调微波器件就会有调制速度高、能耗低、较小体积、较轻重量、同比价格便宜等一系列优点，就会有可能成为一种新一代信息传播与处理的关键键技术。
对钛酸锶钡薄膜的研究正是因为对铁电存储器件、微波可调器件等的研究而兴起的。
2. 研究内容和预期目标
（1）BST薄膜的微观结构
（2）BST薄膜的介电特性
3. 研究的方法与步骤
（1） 制备钛酸锶钡靶材
（2） 使用pld方法制备bst薄膜
（3） 采用高分辨x射线衍射仪测量晶体结构
4. 参考文献
1. p. bao, t. j. jackson, x. wang, m. j. lancaster，barium strontium titanate thin film varctors for roo-temperature microwave device applications [j]。journal of physics d: applied physics，2008，41(6):063001。
2. j. qiu, g. z. liu，j. sakai，f gervais，j. wolfman。dielectric tenability transition in ba0.6sr0.4tio3-based capacitors[j]。journal of applied physics，2011，110(6)：064114。
3. a.k. tagantsev, v.o. sherman, k.f. astafiev, j. venkatesh n. setter .ferroelectric materials for microwave tunable application[j].journal of electroceramics,2003, 11: 566。
5. 计划与进度安排
(1) 2022年1月5日-1月16日 指导教师完成在系统中毕业论文任务书的填写
(2) 2022年3月2日-3月13日 下达毕业任务书
(3) 2022年3月9日-3月20日 学生完成开题报告
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