磁控溅射法制备碲化铋基薄膜开题报告

1. 研究目的与意义

本课题研究的背景: 随着现代技术的发展和世界能源需求的不断增加,近年来热电材料的研究逐渐引起人们的关注。热电材料可将热能和电能进行相互转化。利用热电材料制备的热电器件具有体积小、重量轻、寿命长、无噪音、易于控制等应用优势。

2. 研究内容和预期目标

主要研究内容：热电制冷是一种半导体制冷技术，该技术新型、环保、无污染，工作原理是半导体的帕尔贴效应。随着电子器件的小型化，热电制冷在微电子、光电子等高技术领域都具有广泛的应用前景。本课题要求我们调研热电制冷薄膜的种类和制备方法，学习和掌握使用磁控溅射制备铋锑碲薄膜的技术，学会测试技术对磁控技术制备的铋锑碲薄膜进行相关性能测试。：

预期目标：1.通过调研了解热电薄膜的制备方法和应用情况；

2.学习磁控溅射法制备薄膜材料的原理和相关设备的应用；

3. 研究的方法与步骤

研究方法：文献研究法；实验研究法；统计分析法。

步骤：通过图书馆、互联网、电子资源数据库等途径查阅大量文献，理解热电冷制的发展脉络及研究现状。实验中用磁控溅射法制备薄膜，通过测试薄膜厚度，表面形貌，电学性质等，然后分析实验结果，最后得出结论。

4. 参考文献

[1]王凯,仲德晗,张扬,孙乃坤.bi2te3薄膜的制备及热电性能研究[j].沈阳理工大学学报,2019,38(04):85-89.

[2]邹彦娟,张小龙.se掺杂bi_2te_3电子结构第一性原理研究[j].萍乡学院学报,2019,36(03):34-37.

5. 计划与进度安排

第七学期 2022.11.27与老师见面，了解毕业论文总体情况

第八学期：

1周 2022年2月24日-3月1日 接收毕业论文任务书，了解所选论文题目的状况和要求等；